簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Pad".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="拋光墊性能指標"


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    銅膜化學機械拋光之軟拋墊磨耗率與性能分析研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 廖秉鋐 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究 之目的 為 研發線上量測軟拋墊之 磨耗率 (Pad Wearing Rate, PWR)與 性能指標應用於化學機械拋光之製程 透過 先前 開 發之動態量測 拋光墊性能指標系統 以 自行研發 …
    • 點閱:208下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    動態量測拋光墊系統於修整性能與銅膜晶圓化學機械平坦化之相關性研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 廖偉程 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究延續蔡明城開發之動態量測拋光墊性能指標系統,透過彩色共軛焦感測器架設於CMP機台上,利用拋光機盤面旋轉與搖臂搖擺達到拋光墊大面積掃描,利用自製軟體分析其表面訊號,計算拋光墊非均勻度(PU)、壽…
    • 點閱:277下載:1
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